
QUANTA
3D DualBeam™
Quanta
3D to najnowszy przyrząd firmy FEI Company, zrodzony z mariażu
i integracji w jednym instrumencie dwóch ultranowoczesnych technik
eksperymentalnych: skaningowej mikroskopii elektronowej ESEM™ i metody
wykonywania przekrojów poprzecznych z precyzją submikronową za pomocą
skolimowanej wiązki jonowej (Focused Ion Beam, w skrócie FIB).
Rezultatem
tej kombinacji jest przyrząd typu DualBeam™, który umożliwia nie
tylko obserwację i analizę samej, w istocie dwuwymiarowej, powierzchni materiału,
ale także równoczesne badanie struktur podpowierzchniowych, odkrywanych
in-situ w procesie precyzyjnego, poprzecznego trawienia jonowego.
Sięgając
w głąb, Quanta 3D dodaje zatem ważną brakującą informację o trzecim
wymiarze, co pozwala w końcu na przeprowadzenie prawdziwej, 3-wymiarowej
rekonstrukcji struktury przestrzennej – i to w skali charakterystycznej dla
nowoczesnych układów i procesów nanotechnologicznych.
Szeroka gama zastosowań tego narzędzia nie jest ograniczona do dziedzin
techniczno-technologicznych. Jest to także doskonałe narzędzie dla nauk
biologicznych i medycznych i wielu dyscyplin łącznie nazywanych nauką o
ziemi.
Dzięki
wysokorozdzielczej technice mikroskopowej (o zdolności rozdzielczej osiągającej
wartość 3nm) interesujące dla badacza miejsca charakterystyczne mogą być
wybierane, a następnie „preparowane” wiązką jonów Ga+ z
precyzją bardzo dużą i nie gorszą od 50 nm. Uzyskiwane w Quanta 3D typowe głębokości
przekrojów poprzecznych mieszczą się w zakresie od 5 do 300 μm, przy
czym czas „cięcia” w znacznym stopniu zależy m.in. od rodzaju materiału i
wynosi od 15 minut do kilku godzin. Nadzór operatorski nie jest w tym czasie
potrzebny gdyż system samoczynnie przechodzi przez wszystkie zainicjalizowane
na wstępie etapy eksperymentu.

W
procedurze trójwymiarowego odtwarzania struktury przestrzennej operatora
wspomaga nowatorskie oprogramowanie „Auto Slice & View™”
systemu Quanta 3D, przeprowadzając
w sposób automatyczny zadaną sekwencje (serię) odkrywania przekrojów
poprzecznych „warstwa po warstwie” i, po wykonaniu obliczeń, prezentując
wynik w postaci rzeczywistej symulacji 3D.
Należy
podkreślić, że Quanta 3D zachowuje wszystkie, w wielu przypadkach unikalne
funkcje techniki ESEM, w tym zdolność do wysokorozdzielczego odwzorowywania
materiałów „niekompatybilnych” z wysoką próżnią czy przeprowadzania
wiarygodnej mikroanalizy EDS w
warunkach ultra niskiej próżni (<2600 Pa), jak również możliwość
badania preparatów w warunkach zmiennej wilgotności względnej (do 100%).
Praca w „gorszej próżni” eliminuje dodatkowo znany z konwencjonalnej
wysokopróżniowej mikroskopii elektronowej problem „ładowania się”
powierzchni próbek. Z kolei ładowanie
się powierzchni próbki ładunkiem dodatnim, którego można by spodziewać się
z powodu bombardowania powierzchni wysokoenergetycznymi jonami galu, jest
neutralizowane przez skanowanie wiązką elektronów.
Przykładowe
zastosowania:
-
Wyjaśnienie
przyczyn powstawania defektów powierzchni (na powierzchniach lakierowanych, powłokach
galwanicznych, i.t.p.), których źródła znajdują się pod powierzchnią

-
Rekonstrukcja
przestrzenna rozmieszczenia, w tym segregacji lub aglomeracji
wydzieleń innej fazy w
roztworach stałych
-
Badanie
mechanizmu powstawania i propagacji mikropęknięć przez trójwymiarową
rekonstrukcję obszaru krytycznego frontu pęknięcia
-
Charakteryzacja
ortogonalnych naprężeń w materiałach hetero strukturalnych i ich relaksacja
-
Badanie
wpływu procesów technologicznych na właściwości fizykochemiczne warstw
powierzchniowych
-
Trójwymiarowa
rekonstrukcja porowatości z określeniem gęstości i rozkładów wartości
parametrów stereologicznych
-
Badanie
efektów zwilżania powierzchni
-
Preparowanie
cienkich próbek z dobrze określonych charakterystycznych obszarów materiału
badawczego do obserwacji w wiązce przechodzącej transmisyjnego mikroskopu
elektronowego

System
najnowszej generacji - Quanta 3D DualBeam™
to:
v
Trójwymiarowa rekonstrukcja materiału, wykonywana w
automatycznej procedurze “Auto Slice & View™”
v
System typu ESEM™ ze zmienną próżnią
v
Ultra-niska próżnia w komorze preparatu (czyli
możliwość odwzorowywania preparatów “mokrych”, silnie odgazowujących,
grzanych do temperatury > 10000C,…)
v
Możliwość stosowania wszystkich nowoczesnych
metod
analitycznych (EDS, WDS, EBSP)

Najkrótsze
podsumowanie: ! Quanta 3D = 3D Analytical ESEM !
Więcej
informacji o nowym systemie Quanta 3D, w tym animacja 3D przykładowej trójwymiarowej
rekonstrukcji rozlokowania wydzieleń węglików w stali, na stronie:
www.feic.com/products/quanta-2003d.htm
Przykładowe przekroje struktury wielowarstwowej
odsłonięte metodą FIB w Quancie 3D.
Quanta
3D = 3D+SEM
|